兵工学报
兵工學報
병공학보
ACTA ARMAMENTARII
2009年
5期
607-612
,共6页
刘俊%马宗敏%石云波%杜康%张文栋%张斌珍
劉俊%馬宗敏%石雲波%杜康%張文棟%張斌珍
류준%마종민%석운파%두강%장문동%장빈진
仪器仪表技术%共振隧穿效应%陀螺仪%纳米薄膜%负阻特性%设计
儀器儀錶技術%共振隧穿效應%陀螺儀%納米薄膜%負阻特性%設計
의기의표기술%공진수천효응%타라의%납미박막%부조특성%설계
提出了一种新颖的基于纳米薄膜共振隧穿结构(RTS)的微陀螺.对共振隧穿结构的介观压阻效应进行了理论分析;设计了RTS的结构和工艺方法;制备出了能反映共振隧穿效应的RTS结构.该结构降低了器件的寄生电容,改善了敏感薄膜的负阻特性,适用于共振隧穿效应陀螺.对共振隧穿效应陀螺进行了结构设计和理论仿真;利用体工艺制造了微陀螺;对陀螺的关键性能参数进行了测试.
提齣瞭一種新穎的基于納米薄膜共振隧穿結構(RTS)的微陀螺.對共振隧穿結構的介觀壓阻效應進行瞭理論分析;設計瞭RTS的結構和工藝方法;製備齣瞭能反映共振隧穿效應的RTS結構.該結構降低瞭器件的寄生電容,改善瞭敏感薄膜的負阻特性,適用于共振隧穿效應陀螺.對共振隧穿效應陀螺進行瞭結構設計和理論倣真;利用體工藝製造瞭微陀螺;對陀螺的關鍵性能參數進行瞭測試.
제출료일충신영적기우납미박막공진수천결구(RTS)적미타라.대공진수천결구적개관압조효응진행료이론분석;설계료RTS적결구화공예방법;제비출료능반영공진수천효응적RTS결구.해결구강저료기건적기생전용,개선료민감박막적부조특성,괄용우공진수천효응타라.대공진수천효응타라진행료결구설계화이론방진;이용체공예제조료미타라;대타라적관건성능삼수진행료측시.
