脉冲激光沉积法制备立方焦绿石结构的Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜
맥충격광침적법제비립방초록석결구적Bi1.5ZnNb1.5O7박막
Growth of Cubic Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7 Films by Pulsed Laser Deposition
  • 万方数据
    真空科学与技术学报 진공과학여기술학보
    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2012年 3期 232-235 ,共4页

    张效华%辛凤%胡跃辉%杨丰%陈义川%范跃农%曾庆明

    장효화%신봉%호약휘%양봉%진의천%범약농%증경명

    Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜%脉冲激光沉积%微结构%介电性能 Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜%脈遲激光沉積%微結構%介電性能
    Bi1.5ZnNb1.5O7박막%맥충격광침적%미결구%개전성능
    采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.5ZnNb1.5O7(BZN)陶瓷靶材,采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/Si(100)基片制备立方BZN薄膜.研究了随衬底温度的变化,薄膜的结晶性能,微观形貌以及介电性能的差异.结果表明当衬底温度在550～ 650℃时,薄膜具有纯的立方BZN结构,并且在600℃时薄膜的晶粒发育比较完整,此时薄膜具有较高的介电常数和较低的损耗.
    채용고상반응법합성구유초록석립방결구적Bi1.5ZnNb1.5O7(BZN)도자파재,채용맥충격광침적법재Pt/SiO2/Si(100)기편제비립방BZN박막.연구료수츤저온도적변화,박막적결정성능,미관형모이급개전성능적차이.결과표명당츤저온도재550～ 650℃시,박막구유순적립방BZN결구,병차재600℃시박막적정립발육비교완정,차시박막구유교고적개전상수화교저적손모.
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