微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
332-334,337
,共4页
席文柱%闫卫平%杜立群%郭吉洪
席文柱%閆衛平%杜立群%郭吉洪
석문주%염위평%두립군%곽길홍
聚合酶链式反应%生物芯片%微型加热器%温度传感器
聚閤酶鏈式反應%生物芯片%微型加熱器%溫度傳感器
취합매련식반응%생물심편%미형가열기%온도전감기
采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器,分析了微型加热器和温度传感器的特性,并给出扫描电子显微镜照片.实验证明Ni比较适合做温度传感器,NiCr是较好的微型加热器材料,能够满足PCR生物芯片温度特性的要求.
採用化學腐蝕及榦法刻蝕相結閤的技術製作PCR生物芯片的微反應腔,併在微反應腔上製作金屬薄膜微型加熱器和溫度傳感器,分析瞭微型加熱器和溫度傳感器的特性,併給齣掃描電子顯微鏡照片.實驗證明Ni比較適閤做溫度傳感器,NiCr是較好的微型加熱器材料,能夠滿足PCR生物芯片溫度特性的要求.
채용화학부식급간법각식상결합적기술제작PCR생물심편적미반응강,병재미반응강상제작금속박막미형가열기화온도전감기,분석료미형가열기화온도전감기적특성,병급출소묘전자현미경조편.실험증명Ni비교괄합주온도전감기,NiCr시교호적미형가열기재료,능구만족PCR생물심편온도특성적요구.
