稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2006年
10期
1544-1547
,共4页
孙卫忠%牛新环%王海云%刘彩池%徐岳生
孫衛忠%牛新環%王海雲%劉綵池%徐嶽生
손위충%우신배%왕해운%류채지%서악생
SI-GaAs%微缺陷%位错%AB腐蚀%杂质碳
SI-GaAs%微缺陷%位錯%AB腐蝕%雜質碳
SI-GaAs%미결함%위착%AB부식%잡질탄
用化学腐蚀法、金相显微观察、透射电镜(TEM)、电子探针X射线微区分析(EPMA)和扫描电镜能谱分析(EDX)等手段,对φ76 mm非掺杂(ND)半绝缘砷化镓(SI-GaAs)单晶中微缺陷、碳的微区分布进行了分析.结果表明:在晶体周边区域,由高密度位错运动和反应形成胞状结构,该胞状结构的本质就是晶体结晶时形成的小角度晶界,且位错与微缺陷有强烈的相互作用:杂质碳在胞壁、近胞壁和完整区的含量依次降低,存在条纹分布.
用化學腐蝕法、金相顯微觀察、透射電鏡(TEM)、電子探針X射線微區分析(EPMA)和掃描電鏡能譜分析(EDX)等手段,對φ76 mm非摻雜(ND)半絕緣砷化鎵(SI-GaAs)單晶中微缺陷、碳的微區分佈進行瞭分析.結果錶明:在晶體週邊區域,由高密度位錯運動和反應形成胞狀結構,該胞狀結構的本質就是晶體結晶時形成的小角度晶界,且位錯與微缺陷有彊烈的相互作用:雜質碳在胞壁、近胞壁和完整區的含量依次降低,存在條紋分佈.
용화학부식법、금상현미관찰、투사전경(TEM)、전자탐침X사선미구분석(EPMA)화소묘전경능보분석(EDX)등수단,대φ76 mm비참잡(ND)반절연신화가(SI-GaAs)단정중미결함、탄적미구분포진행료분석.결과표명:재정체주변구역,유고밀도위착운동화반응형성포상결구,해포상결구적본질취시정체결정시형성적소각도정계,차위착여미결함유강렬적상호작용:잡질탄재포벽、근포벽화완정구적함량의차강저,존재조문분포.
