山东交通学院学报
山東交通學院學報
산동교통학원학보
JOURNAL OF SHANDONG JIAOTONG UNIVERSITY
2007年
2期
41-45
,共5页
孙振翠%原所佳%孙海波
孫振翠%原所佳%孫海波
손진취%원소가%손해파
Ga2O3薄膜%GaN薄膜%射频磁控溅射
Ga2O3薄膜%GaN薄膜%射頻磁控濺射
Ga2O3박막%GaN박막%사빈자공천사
采用射频磁控溅射工艺在预沉积和预沉积后再分布的扩镓Si基上溅射Ga2O3薄膜氮化反应组装GaN薄膜.用红外透射谱(FTIR)、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、选区电子衍射(SAED)和荧光光谱(PL)对样品进行组成、结构、形貌和发光特性的分析.测试结果表明:采用此方法得到六方纤锌矿结构的GaN薄膜.同时显示预沉积的扩镓硅基较预沉积后再分布的扩镓硅基更适合GaN薄膜的生长.
採用射頻磁控濺射工藝在預沉積和預沉積後再分佈的擴鎵Si基上濺射Ga2O3薄膜氮化反應組裝GaN薄膜.用紅外透射譜(FTIR)、X射線衍射(XRD)、掃描電鏡(SEM)、選區電子衍射(SAED)和熒光光譜(PL)對樣品進行組成、結構、形貌和髮光特性的分析.測試結果錶明:採用此方法得到六方纖鋅礦結構的GaN薄膜.同時顯示預沉積的擴鎵硅基較預沉積後再分佈的擴鎵硅基更適閤GaN薄膜的生長.
채용사빈자공천사공예재예침적화예침적후재분포적확가Si기상천사Ga2O3박막담화반응조장GaN박막.용홍외투사보(FTIR)、X사선연사(XRD)、소묘전경(SEM)、선구전자연사(SAED)화형광광보(PL)대양품진행조성、결구、형모화발광특성적분석.측시결과표명:채용차방법득도륙방섬자광결구적GaN박막.동시현시예침적적확가규기교예침적후재분포적확가규기경괄합GaN박막적생장.
