纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2009年
1期
36-40
,共5页
杜立群%喻立川%刘文涛%宋磊
杜立群%喻立川%劉文濤%宋磊
두립군%유립천%류문도%송뢰
SU-8厚胶光刻%微电铸%牺牲层技术%微结构%可动机构
SU-8厚膠光刻%微電鑄%犧牲層技術%微結構%可動機構
SU-8후효광각%미전주%희생층기술%미결구%가동궤구
在无背板生长工艺的基础上,以SU-8胶为牺牲层,直接在金属Ni基底上制作出了一种三维可动微机构.该器件的制作主要采用了SU-8厚胶光刻工艺、高深宽比结构的微电铸工艺以及牺牲层工艺.就SU-8胶与金属基底结合差、易产生气泡、去除困难,铸层与金属基底之间以及铸层与铸层之间结合不牢等问题进行了讨论,采用了过渡层工艺、梯度升温工艺以及酸洗等方法予以解决.对于在金属基底上通过微电铸制作微结构的工艺而言,由于基底可以直接作为微结构的一部分,因此该工艺的优势在于节省了微结构的电铸时间,降低了铸层的生长应力,提高了结构的整体强度,使微器件的可靠性大大增加.电铸时间由原来的几天甚至几周缩短为二十几个小时,避免了出现由铸层内应力引起的铸件结构变形的问题.
在無揹闆生長工藝的基礎上,以SU-8膠為犧牲層,直接在金屬Ni基底上製作齣瞭一種三維可動微機構.該器件的製作主要採用瞭SU-8厚膠光刻工藝、高深寬比結構的微電鑄工藝以及犧牲層工藝.就SU-8膠與金屬基底結閤差、易產生氣泡、去除睏難,鑄層與金屬基底之間以及鑄層與鑄層之間結閤不牢等問題進行瞭討論,採用瞭過渡層工藝、梯度升溫工藝以及痠洗等方法予以解決.對于在金屬基底上通過微電鑄製作微結構的工藝而言,由于基底可以直接作為微結構的一部分,因此該工藝的優勢在于節省瞭微結構的電鑄時間,降低瞭鑄層的生長應力,提高瞭結構的整體彊度,使微器件的可靠性大大增加.電鑄時間由原來的幾天甚至幾週縮短為二十幾箇小時,避免瞭齣現由鑄層內應力引起的鑄件結構變形的問題.
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