PLD法制备基于缓冲层的ZnO薄膜及纳米棒研究进展
PLD법제비기우완충층적ZnO박막급납미봉연구진전
Research progress of preparation of ZnO film and nanorods on buffer layer by PLD
  • 万方数据
    电子元件与材料 전자원건여재료
    ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
    2010年 10期 65-68 ,共4页

    梁金%梁齐%安宁宁%饶晓俊%王莉

    량금%량제%안저저%요효준%왕리

    ZnO薄膜%ZnO纳米棒%综述%PLD%缓冲层 ZnO薄膜%ZnO納米棒%綜述%PLD%緩遲層
    ZnO박막%ZnO납미봉%종술%PLD%완충층
    综述了脉冲激光沉积(PLD)法基于缓冲层制备ZnO薄膜及ZnO纳米棒的研究进展,分析了缓冲层对于生长高质量ZnO薄膜及纳米棒的作用,得到结论:引入缓冲层可以减少沉积物与衬底晶格失配以及热膨胀系数不匹配的问题.
    종술료맥충격광침적(PLD)법기우완충층제비ZnO박막급ZnO납미봉적연구진전,분석료완충층대우생장고질량ZnO박막급납미봉적작용,득도결론:인입완충층가이감소침적물여츤저정격실배이급열팽창계수불필배적문제.
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