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2011年
9期
1-1
,共1页
ZnO薄膜%退火温度%氧分压%光致发光
ZnO薄膜%退火溫度%氧分壓%光緻髮光
ZnO박막%퇴화온도%양분압%광치발광
利用磁控射频溅射法制备了ZnO薄膜,制备过程中控制不同的氧分压值,并通过采用不同的退火温度获得了系列样品,测定了其光致发光谱.发现样品的主要发光峰位随氧分压增大出现蓝移,随退火温度的升高而发生虹移.从导带底到锌缺陷形成的受主能级之间的跃迁可能是产生蓝光发射的原因.
利用磁控射頻濺射法製備瞭ZnO薄膜,製備過程中控製不同的氧分壓值,併通過採用不同的退火溫度穫得瞭繫列樣品,測定瞭其光緻髮光譜.髮現樣品的主要髮光峰位隨氧分壓增大齣現藍移,隨退火溫度的升高而髮生虹移.從導帶底到鋅缺陷形成的受主能級之間的躍遷可能是產生藍光髮射的原因.
이용자공사빈천사법제비료ZnO박막,제비과정중공제불동적양분압치,병통과채용불동적퇴화온도획득료계렬양품,측정료기광치발광보.발현양품적주요발광봉위수양분압증대출현람이,수퇴화온도적승고이발생홍이.종도대저도자결함형성적수주능급지간적약천가능시산생람광발사적원인.
