真空
真空
진공
VACUUM
2005年
6期
39-42
,共4页
林明通%陈国荣%杨云霞%肖田%楼均辉
林明通%陳國榮%楊雲霞%肖田%樓均輝
림명통%진국영%양운하%초전%루균휘
射频磁控溅射%Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜%沉积速率%介电常数%击穿场强%品质因子
射頻磁控濺射%Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜%沉積速率%介電常數%擊穿場彊%品質因子
사빈자공천사%Ba0.5Sr0.5TiO3박막%침적속솔%개전상수%격천장강%품질인자
铁电/介电BST(BaxSr1-xTiO3)薄膜在微电子学、集成光学和光电子学等新技术领域有广泛的应用前景.用射频磁控溅射方法制备了厚约700 nm的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜,采用Al/BST/ITO结构研究了溅射功率、溅射气压、O2/(Ar+O2)比和基片温度对上述BST薄膜沉积速率和介电性能的影响,并根据这些结果分析了较优的工艺条件,同时用XRD、XPS和SEM研究了薄膜的晶相、组成和显微结构.
鐵電/介電BST(BaxSr1-xTiO3)薄膜在微電子學、集成光學和光電子學等新技術領域有廣汎的應用前景.用射頻磁控濺射方法製備瞭厚約700 nm的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜,採用Al/BST/ITO結構研究瞭濺射功率、濺射氣壓、O2/(Ar+O2)比和基片溫度對上述BST薄膜沉積速率和介電性能的影響,併根據這些結果分析瞭較優的工藝條件,同時用XRD、XPS和SEM研究瞭薄膜的晶相、組成和顯微結構.
철전/개전BST(BaxSr1-xTiO3)박막재미전자학、집성광학화광전자학등신기술영역유엄범적응용전경.용사빈자공천사방법제비료후약700 nm적Ba0.5Sr0.5TiO3박막,채용Al/BST/ITO결구연구료천사공솔、천사기압、O2/(Ar+O2)비화기편온도대상술BST박막침적속솔화개전성능적영향,병근거저사결과분석료교우적공예조건,동시용XRD、XPS화SEM연구료박막적정상、조성화현미결구.
