电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2006年
6期
472-476
,共5页
唐雨钊%周虹杉%张峰%吴志华%张晓东%孙洁林%胡钧
唐雨釗%週虹杉%張峰%吳誌華%張曉東%孫潔林%鬍鈞
당우쇠%주홍삼%장봉%오지화%장효동%손길림%호균
原子力显微镜%反向重定位%软刻蚀%表面标记坐标系%高精度样品台系统
原子力顯微鏡%反嚮重定位%軟刻蝕%錶麵標記坐標繫%高精度樣品檯繫統
원자력현미경%반향중정위%연각식%표면표기좌표계%고정도양품태계통
软刻蚀技术运用聚二甲基硅氧烷(Poly dimethylsiloxane,PDMS)等聚合物材料制备弹性图章,并用制备好的图章转印图形结构至特定基底.在很多情况下需对模板和弹性图章、图章与转印图形同一位置的形貌进行表征.基于原子力显微镜观测的反向重定位技术提供了一种微观区域内对二维平面互为镜像关系的两种样品的原位对比观测方法.本文利用坐标实时显示的程控高精度样品台系统,联合使用非对称表面标记及坐标镜像复制的定位法,实现了对样品的精确反向重定位成像.
軟刻蝕技術運用聚二甲基硅氧烷(Poly dimethylsiloxane,PDMS)等聚閤物材料製備彈性圖章,併用製備好的圖章轉印圖形結構至特定基底.在很多情況下需對模闆和彈性圖章、圖章與轉印圖形同一位置的形貌進行錶徵.基于原子力顯微鏡觀測的反嚮重定位技術提供瞭一種微觀區域內對二維平麵互為鏡像關繫的兩種樣品的原位對比觀測方法.本文利用坐標實時顯示的程控高精度樣品檯繫統,聯閤使用非對稱錶麵標記及坐標鏡像複製的定位法,實現瞭對樣品的精確反嚮重定位成像.
연각식기술운용취이갑기규양완(Poly dimethylsiloxane,PDMS)등취합물재료제비탄성도장,병용제비호적도장전인도형결구지특정기저.재흔다정황하수대모판화탄성도장、도장여전인도형동일위치적형모진행표정.기우원자력현미경관측적반향중정위기술제공료일충미관구역내대이유평면호위경상관계적량충양품적원위대비관측방법.본문이용좌표실시현시적정공고정도양품태계통,연합사용비대칭표면표기급좌표경상복제적정위법,실현료대양품적정학반향중정위성상.
