转底炉法制备细晶粒铜最佳条件的研究
전저로법제비세정립동최가조건적연구
Study on Best Conditions for Preparing Fine Crystalline Grain Copper by Rotary Hearth Furnace Principle
  • 万方数据
    材料导报 재료도보
    MATERIALS REVIEW
    2008年 Z2期 212-214 ,共3页

    吴中亮%马瑞新%艾琳%汪春平%孙鹏%张亚东%康勃%王目孔

    오중량%마서신%애림%왕춘평%손붕%장아동%강발%왕목공

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    전저로법%동대%정립척촌
    作为半导体用的铜靶材,其晶粒大小严重影响溅镀薄膜的品质,靶材晶粒的细化技术成为关键.依据转底炉法原理制备了一种片状铜,并对其晶粒尺寸的变化进行了研究,通过分析发现:坩埚底孔直径越小,底转盘转速越快,底转盘传热越好;在底转盘冷却效果好的情况下,下落点离底转盘的边缘越近,铜带的晶粒越小.
    작위반도체용적동파재,기정립대소엄중영향천도박막적품질,파재정립적세화기술성위관건.의거전저로법원리제비료일충편상동,병대기정립척촌적변화진행료연구,통과분석발현:감과저공직경월소,저전반전속월쾌,저전반전열월호;재저전반냉각효과호적정황하,하낙점리저전반적변연월근,동대적정립월소.
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