兵器材料科学与工程
兵器材料科學與工程
병기재료과학여공정
Ordnance Material Science and Engineering
2009年
3期
99-104
,共6页
许积文%王华%任明放%杨玲
許積文%王華%任明放%楊玲
허적문%왕화%임명방%양령
ZnO%P型掺杂%综述%制备方法
ZnO%P型摻雜%綜述%製備方法
ZnO%P형참잡%종술%제비방법
氧化锌(ZnO)是直接宽带隙半导体材料,有高达60 meV的激子束缚能,是下一代短波长光电材料的潜在材料.有效的p型ZnO薄膜掺杂是实现ZnO基光电器件的基础,虽然取得一定的进展,但从性能上来看,远远不及n型ZnO薄膜,而且重复性差.分析难于实现氧化锌p型掺杂的主要原因,综述近年来出现的p型掺杂的新方法、掺杂机制及其有效的实现工艺,指出今后的发展趋势和研究重点.
氧化鋅(ZnO)是直接寬帶隙半導體材料,有高達60 meV的激子束縳能,是下一代短波長光電材料的潛在材料.有效的p型ZnO薄膜摻雜是實現ZnO基光電器件的基礎,雖然取得一定的進展,但從性能上來看,遠遠不及n型ZnO薄膜,而且重複性差.分析難于實現氧化鋅p型摻雜的主要原因,綜述近年來齣現的p型摻雜的新方法、摻雜機製及其有效的實現工藝,指齣今後的髮展趨勢和研究重點.
양화자(ZnO)시직접관대극반도체재료,유고체60 meV적격자속박능,시하일대단파장광전재료적잠재재료.유효적p형ZnO박막참잡시실현ZnO기광전기건적기출,수연취득일정적진전,단종성능상래간,원원불급n형ZnO박막,이차중복성차.분석난우실현양화자p형참잡적주요원인,종술근년래출현적p형참잡적신방법、참잡궤제급기유효적실현공예,지출금후적발전추세화연구중점.
