电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2009年
4期
356-360
,共5页
储氢材料%薄膜%磁控溅射%透射电镜(TEM)
儲氫材料%薄膜%磁控濺射%透射電鏡(TEM)
저경재료%박막%자공천사%투사전경(TEM)
本文用X-ray衍射(XRD)方法研究了磁控溅射制备的MmNi3.5(CoAlMn)1.5/Mg(简写为Mg/MmM5)复合薄膜吸放氢前后的结构变化与储氢性能间的关系.XRD表明Mg/MmM5多层膜中Mg层的储氢性能有一定程度的改善,吸/放氢温度分别为473 K和523 K.用透射电镜(TEM)分析方法研究了Mg/MmM,多层薄膜的微观结构,Mg/MmM5多层膜中Mg层和MmM5层的结构与衬底的性质有密切关系.Mg层由纳米晶和沿垂直于衬底表面的[001]方向生长的柱状晶组成;MmM5层则由纳米晶和非晶组成.Mg/MmM5多层膜在吸氢过程中表现为(103)面平行于衬底生长的柱状晶先吸氢,然后是(001)面生长的柱状晶再吸氢.
本文用X-ray衍射(XRD)方法研究瞭磁控濺射製備的MmNi3.5(CoAlMn)1.5/Mg(簡寫為Mg/MmM5)複閤薄膜吸放氫前後的結構變化與儲氫性能間的關繫.XRD錶明Mg/MmM5多層膜中Mg層的儲氫性能有一定程度的改善,吸/放氫溫度分彆為473 K和523 K.用透射電鏡(TEM)分析方法研究瞭Mg/MmM,多層薄膜的微觀結構,Mg/MmM5多層膜中Mg層和MmM5層的結構與襯底的性質有密切關繫.Mg層由納米晶和沿垂直于襯底錶麵的[001]方嚮生長的柱狀晶組成;MmM5層則由納米晶和非晶組成.Mg/MmM5多層膜在吸氫過程中錶現為(103)麵平行于襯底生長的柱狀晶先吸氫,然後是(001)麵生長的柱狀晶再吸氫.
본문용X-ray연사(XRD)방법연구료자공천사제비적MmNi3.5(CoAlMn)1.5/Mg(간사위Mg/MmM5)복합박막흡방경전후적결구변화여저경성능간적관계.XRD표명Mg/MmM5다층막중Mg층적저경성능유일정정도적개선,흡/방경온도분별위473 K화523 K.용투사전경(TEM)분석방법연구료Mg/MmM,다층박막적미관결구,Mg/MmM5다층막중Mg층화MmM5층적결구여츤저적성질유밀절관계.Mg층유납미정화연수직우츤저표면적[001]방향생장적주상정조성;MmM5층칙유납미정화비정조성.Mg/MmM5다층막재흡경과정중표현위(103)면평행우츤저생장적주상정선흡경,연후시(001)면생장적주상정재흡경.
