真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
5期
505-509
,共5页
彭丽平%王兆松%李剑锋%吕世功%王春%武洪臣%巩水利%李国卿
彭麗平%王兆鬆%李劍鋒%呂世功%王春%武洪臣%鞏水利%李國卿
팽려평%왕조송%리검봉%려세공%왕춘%무홍신%공수리%리국경
多层复合膜%Ti/TiN调制周期膜%类金刚石膜%摩擦系数%结合力
多層複閤膜%Ti/TiN調製週期膜%類金剛石膜%摩抆繫數%結閤力
다층복합막%Ti/TiN조제주기막%류금강석막%마찰계수%결합력
对含50%AlN 颗粒的铝基复合材料进行预处理后,在其表面依次采用浸锌化学镀镍工艺制备Ni-P过渡层,采用脉冲偏压磁过滤多弧离子镀工艺沉积硬质Ti/TiN调制周期膜,采用脉冲等离子体化学气相沉积工艺制备含氢类金刚石(DLC)膜等工艺最后形成了多层复合薄膜体系.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、光谱仪、原子力显微镜、微载荷显微硬度仪、摩擦磨损试验机等设备分析了复合薄膜的组织结构、膜层形貌、截面形貌、显微硬度和摩擦系数等性能特点.测试表明:铝基复合材料/Ni-P层/Ti/TiN调制周期膜/含氢DLC膜这一梯度膜系具有结构交替变化,相邻界面形成混合层,性能梯度分布,硬度逐渐增加,摩擦系数小的特点.该复合工艺能够有效地解决铝基复合材料上制备硬质厚膜的热适配和晶格错配度大的难题,制备薄膜具有良好的膜基结合性能.
對含50%AlN 顆粒的鋁基複閤材料進行預處理後,在其錶麵依次採用浸鋅化學鍍鎳工藝製備Ni-P過渡層,採用脈遲偏壓磁過濾多弧離子鍍工藝沉積硬質Ti/TiN調製週期膜,採用脈遲等離子體化學氣相沉積工藝製備含氫類金剛石(DLC)膜等工藝最後形成瞭多層複閤薄膜體繫.利用X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、光譜儀、原子力顯微鏡、微載荷顯微硬度儀、摩抆磨損試驗機等設備分析瞭複閤薄膜的組織結構、膜層形貌、截麵形貌、顯微硬度和摩抆繫數等性能特點.測試錶明:鋁基複閤材料/Ni-P層/Ti/TiN調製週期膜/含氫DLC膜這一梯度膜繫具有結構交替變化,相鄰界麵形成混閤層,性能梯度分佈,硬度逐漸增加,摩抆繫數小的特點.該複閤工藝能夠有效地解決鋁基複閤材料上製備硬質厚膜的熱適配和晶格錯配度大的難題,製備薄膜具有良好的膜基結閤性能.
대함50%AlN 과립적려기복합재료진행예처리후,재기표면의차채용침자화학도얼공예제비Ni-P과도층,채용맥충편압자과려다호리자도공예침적경질Ti/TiN조제주기막,채용맥충등리자체화학기상침적공예제비함경류금강석(DLC)막등공예최후형성료다층복합박막체계.이용X사선연사의、소묘전자현미경、광보의、원자력현미경、미재하현미경도의、마찰마손시험궤등설비분석료복합박막적조직결구、막층형모、절면형모、현미경도화마찰계수등성능특점.측시표명:려기복합재료/Ni-P층/Ti/TiN조제주기막/함경DLC막저일제도막계구유결구교체변화,상린계면형성혼합층,성능제도분포,경도축점증가,마찰계수소적특점.해복합공예능구유효지해결려기복합재료상제비경질후막적열괄배화정격착배도대적난제,제비박막구유량호적막기결합성능.
