真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2012年
1期
48-52
,共5页
朱道云%郑昌喜%王明东%陈弟虎%何振辉%闻立时
硃道雲%鄭昌喜%王明東%陳弟虎%何振輝%聞立時
주도운%정창희%왕명동%진제호%하진휘%문립시
脉冲偏压%电弧离子%荷电效应%MgO薄膜
脈遲偏壓%電弧離子%荷電效應%MgO薄膜
맥충편압%전호리자%하전효응%MgO박막
采用脉冲偏压电弧离子沉积技术在玻璃基片上制备了透明的、具有择优取向的MgO薄膜.针对绝缘性薄膜表面的荷电效应,比较了脉冲偏压作用下鞘层对离子的加速时间(即鞘层的寿命)与脉冲宽度的大小以及偏压鞘层的初始厚度与离子穿越的距离的大小,讨论了不同占空比下偏压鞘层对离子的加速效应.利用X射线衍射及扫描电子显微镜对样品的观察结果表明,由于荷电效应,脉冲偏压幅值为-150V,占空比在10％～40％的范围内,占空比的变化并不能改变MgO薄膜的微观结构和表面形貌.
採用脈遲偏壓電弧離子沉積技術在玻璃基片上製備瞭透明的、具有擇優取嚮的MgO薄膜.針對絕緣性薄膜錶麵的荷電效應,比較瞭脈遲偏壓作用下鞘層對離子的加速時間(即鞘層的壽命)與脈遲寬度的大小以及偏壓鞘層的初始厚度與離子穿越的距離的大小,討論瞭不同佔空比下偏壓鞘層對離子的加速效應.利用X射線衍射及掃描電子顯微鏡對樣品的觀察結果錶明,由于荷電效應,脈遲偏壓幅值為-150V,佔空比在10％～40％的範圍內,佔空比的變化併不能改變MgO薄膜的微觀結構和錶麵形貌.
채용맥충편압전호리자침적기술재파리기편상제비료투명적、구유택우취향적MgO박막.침대절연성박막표면적하전효응,비교료맥충편압작용하초층대리자적가속시간(즉초층적수명)여맥충관도적대소이급편압초층적초시후도여리자천월적거리적대소,토론료불동점공비하편압초층대리자적가속효응.이용X사선연사급소묘전자현미경대양품적관찰결과표명,유우하전효응,맥충편압폭치위-150V,점공비재10％～40％적범위내,점공비적변화병불능개변MgO박막적미관결구화표면형모.
