科技创新导报
科技創新導報
과기창신도보
SCIENCE AND TECHNOLOGY CONSULTING HERALD
2012年
1期
14-16
,共3页
吴华%王利杰%孙希鹏%黄森鹏%孙信华%于茫%陆东梅
吳華%王利傑%孫希鵬%黃森鵬%孫信華%于茫%陸東梅
오화%왕리걸%손희붕%황삼붕%손신화%우망%륙동매
石墨烯%热场模拟%石墨坩埚
石墨烯%熱場模擬%石墨坩堝
석묵희%열장모의%석묵감과
SiC表面高温改性法制备出的石墨烯的质量较高且可以直接通过光刻在SiC衬底上制作器件,是目前最有希望大规模制备石墨烯的方法之一。但是其产热和导热过程比较复杂,给热场设计带来了较大的难度。本文借助计算机热场模拟技术解决了这个难题,模拟出了与事实相符的结果,并在此基础上优化了坩埚设计,最终指导工艺实验生长出了层数分布均匀的石墨烯。
SiC錶麵高溫改性法製備齣的石墨烯的質量較高且可以直接通過光刻在SiC襯底上製作器件,是目前最有希望大規模製備石墨烯的方法之一。但是其產熱和導熱過程比較複雜,給熱場設計帶來瞭較大的難度。本文藉助計算機熱場模擬技術解決瞭這箇難題,模擬齣瞭與事實相符的結果,併在此基礎上優化瞭坩堝設計,最終指導工藝實驗生長齣瞭層數分佈均勻的石墨烯。
SiC표면고온개성법제비출적석묵희적질량교고차가이직접통과광각재SiC츤저상제작기건,시목전최유희망대규모제비석묵희적방법지일。단시기산열화도열과정비교복잡,급열장설계대래료교대적난도。본문차조계산궤열장모의기술해결료저개난제,모의출료여사실상부적결과,병재차기출상우화료감과설계,최종지도공예실험생장출료층수분포균균적석묵희。
