MOCVD法制备Ir/C簇膜的成分与结构研究
MOCVD법제비Ir/C족막적성분여결구연구
Composition and Microstructure of Ir/C Clusters Prepared by MOCVD
  • 万方数据
    贵金属 귀금속
    PRECIOUS METALS
    2006年 1期 21-26,41 ,共7页

    戴姣燕%胡昌义%万吉高%方颖%欧阳远良%高文桂%刘伟平%杨家明

    대교연%호창의%만길고%방영%구양원량%고문계%류위평%양가명

    低维金属材料%Ir/C簇膜%成分%结构%金属有机化合物化学气相沉积 低維金屬材料%Ir/C簇膜%成分%結構%金屬有機化閤物化學氣相沉積
    저유금속재료%Ir/C족막%성분%결구%금속유궤화합물화학기상침적
    以乙酰丙酮铱为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在石英片上沉积了Ir/C簇膜.研究了氧气流量及沉积温度对Ir/C簇膜成分和结构的影响.研究发现,少量氧气的加入(4mL/min)大幅度地降低了Ir/C簇膜中碳元素的含量;沉积温度对薄膜中碳含量的影响规律则比较复杂:未通氧气的情况下,在实验温度范围内碳含量随着温度的升高而增大,而在通入氧气的情况下碳含量呈现出先升后降的复杂变化趋势.大量碳的沉积宽化了Ir的衍射峰,使其具有非晶衍射的特征.当沉积温度为650℃,未通氧气沉积的Ir/C簇膜中铱晶粒粒经约为3nm.
    이을선병동의위전구체,채용금속유궤화합물화학기상침적(MOCVD)기술재석영편상침적료Ir/C족막.연구료양기류량급침적온도대Ir/C족막성분화결구적영향.연구발현,소량양기적가입(4mL/min)대폭도지강저료Ir/C족막중탄원소적함량;침적온도대박막중탄함량적영향규률칙비교복잡:미통양기적정황하,재실험온도범위내탄함량수착온도적승고이증대,이재통입양기적정황하탄함량정현출선승후강적복잡변화추세.대량탄적침적관화료Ir적연사봉,사기구유비정연사적특정.당침적온도위650℃,미통양기침적적Ir/C족막중의정립립경약위3nm.
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