材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
4期
67-69,73
,共4页
马高峰%雷宁%张国防%卢亚峰%郗大来%白宏斌%王炳旭%冯宝奇
馬高峰%雷寧%張國防%盧亞峰%郗大來%白宏斌%王炳旭%馮寶奇
마고봉%뢰저%장국방%로아봉%치대래%백굉빈%왕병욱%풍보기
化学溶液沉积法%La2CuMnO6%前驱体金属盐%衬底%筛选%缓冲层薄膜%制备%结构表征
化學溶液沉積法%La2CuMnO6%前驅體金屬鹽%襯底%篩選%緩遲層薄膜%製備%結構錶徵
화학용액침적법%La2CuMnO6%전구체금속염%츤저%사선%완충층박막%제비%결구표정
根据镧、铜及锰盐在不同溶剂中的溶解性,选择合适的溶剂及镧、铜及锰盐为前驱体,配制成前驱溶液进行润湿性、稳定性及不同衬底热处理实验.成功筛选出制备La2CuMnO6(LCMO)缓冲层薄膜的前驱体,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对化学溶液沉积法(CSD)合成的La2CuMno6薄膜的相组成和形貌结构进行了表征.结果表明,选择合适的前驱体(La(CH3COO)3·1.5H2O、Cu(CH3COO)2·1.0H2O、Mn(CH3COO)2·4.0H2O)及SrTiO3(STO)(100)衬底,在1000℃、保温时间3h、空气气氛及总离子浓度为1.0mol/L工艺条件下制备的La2CuMnO6薄膜具有很好的c轴织构,薄膜表面较平整、均匀、无裂纹、无孔洞,分布均匀且排列致密,完全满足缓冲层对薄膜的要求.
根據鑭、銅及錳鹽在不同溶劑中的溶解性,選擇閤適的溶劑及鑭、銅及錳鹽為前驅體,配製成前驅溶液進行潤濕性、穩定性及不同襯底熱處理實驗.成功篩選齣製備La2CuMnO6(LCMO)緩遲層薄膜的前驅體,利用X射線衍射(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)對化學溶液沉積法(CSD)閤成的La2CuMno6薄膜的相組成和形貌結構進行瞭錶徵.結果錶明,選擇閤適的前驅體(La(CH3COO)3·1.5H2O、Cu(CH3COO)2·1.0H2O、Mn(CH3COO)2·4.0H2O)及SrTiO3(STO)(100)襯底,在1000℃、保溫時間3h、空氣氣氛及總離子濃度為1.0mol/L工藝條件下製備的La2CuMnO6薄膜具有很好的c軸織構,薄膜錶麵較平整、均勻、無裂紋、無孔洞,分佈均勻且排列緻密,完全滿足緩遲層對薄膜的要求.
근거란、동급맹염재불동용제중적용해성,선택합괄적용제급란、동급맹염위전구체,배제성전구용액진행윤습성、은정성급불동츤저열처리실험.성공사선출제비La2CuMnO6(LCMO)완충층박막적전구체,이용X사선연사(XRD)화원자력현미경(AFM)대화학용액침적법(CSD)합성적La2CuMno6박막적상조성화형모결구진행료표정.결과표명,선택합괄적전구체(La(CH3COO)3·1.5H2O、Cu(CH3COO)2·1.0H2O、Mn(CH3COO)2·4.0H2O)급SrTiO3(STO)(100)츤저,재1000℃、보온시간3h、공기기분급총리자농도위1.0mol/L공예조건하제비적La2CuMnO6박막구유흔호적c축직구,박막표면교평정、균균、무렬문、무공동,분포균균차배렬치밀,완전만족완충층대박막적요구.
