大学物理实验
大學物理實驗
대학물리실험
PHYSICAL EXPERIMENT OF COLLEGE
2011年
1期
1-4
,共4页
薄膜生长长%薄膜电阻%薄膜测量
薄膜生長長%薄膜電阻%薄膜測量
박막생장장%박막전조%박막측량
考察不同沉积时间的金属铝与铜的薄膜的沉积态,电阻变化与厚度,厚度测量采用实验室光学干涉和透过率对比方法.金相显微与铝铜电阻变化的测量表明,不连续薄膜与连续过渡之间,电阻显著变化处不同.铝膜电阻随时间变化过程开始时存在波动状态.
攷察不同沉積時間的金屬鋁與銅的薄膜的沉積態,電阻變化與厚度,厚度測量採用實驗室光學榦涉和透過率對比方法.金相顯微與鋁銅電阻變化的測量錶明,不連續薄膜與連續過渡之間,電阻顯著變化處不同.鋁膜電阻隨時間變化過程開始時存在波動狀態.
고찰불동침적시간적금속려여동적박막적침적태,전조변화여후도,후도측량채용실험실광학간섭화투과솔대비방법.금상현미여려동전조변화적측량표명,불련속박막여련속과도지간,전조현저변화처불동.려막전조수시간변화과정개시시존재파동상태.
