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전자원기건자신
ECDN
2010年
3期
18-21
,共4页
PECVD%晶硅太阳能电池%国产设备%国产化
PECVD%晶硅太暘能電池%國產設備%國產化
PECVD%정규태양능전지%국산설비%국산화
晶体硅太阳能电池行业的迅猛发展,对产业装备提出了越来越高的要求,本文介绍了晶硅太阳能电池钝化膜的制备原理,比较了当前几种主流的PECVD设备技术特点、相互区别,并进一步分析了PECVD设备的技术发展趋势.高性能、高产量、高成品率、低维护成本以及环保节能等是PECVD设备技术能满足市场并高速发展的重要条件.
晶體硅太暘能電池行業的迅猛髮展,對產業裝備提齣瞭越來越高的要求,本文介紹瞭晶硅太暘能電池鈍化膜的製備原理,比較瞭噹前幾種主流的PECVD設備技術特點、相互區彆,併進一步分析瞭PECVD設備的技術髮展趨勢.高性能、高產量、高成品率、低維護成本以及環保節能等是PECVD設備技術能滿足市場併高速髮展的重要條件.
정체규태양능전지행업적신맹발전,대산업장비제출료월래월고적요구,본문개소료정규태양능전지둔화막적제비원리,비교료당전궤충주류적PECVD설비기술특점、상호구별,병진일보분석료PECVD설비적기술발전추세.고성능、고산량、고성품솔、저유호성본이급배보절능등시PECVD설비기술능만족시장병고속발전적중요조건.
