金属世界
金屬世界
금속세계
METAL WORLD
2009年
z1期
26-30
,共5页
尹少武%王立%杨福明%李延辉
尹少武%王立%楊福明%李延輝
윤소무%왕립%양복명%리연휘
氮化硅%直接氮化%动力学%活化能%缩芯模型
氮化硅%直接氮化%動力學%活化能%縮芯模型
담화규%직접담화%동역학%활화능%축심모형
以平均粒径为2.8 μm的硅粉为原料,添加氮化硅粉作为稀释剂,对常压氮气下直接氮化制各Si3N4粉的工艺进行了研究,氮化温度范围为1623～1823 K,氮化时间范围为0～20 min.借助XRD、SEM等检测方法,分析了氮化温度和氮化时间等因素对氮化过程的影响.基于不同氮化温度下硅的转化率与氮化时间的关系,利用粒径不变的缩芯模型,建立了一种简化的硅氮反应模型,该模型显示出硅的转化率随时间呈渐近线指数趋势.并利用该模型计算得出了硅粉常压直接氮化合成氮化硅粉的一些反应动力学参数:Arrhenius公式中指前因子为5.56×1012cm/s;活化能为534 kJ/mol;有效扩散系数为6.2×10-8cm2/s;以及反应速率常数的计算公式.
以平均粒徑為2.8 μm的硅粉為原料,添加氮化硅粉作為稀釋劑,對常壓氮氣下直接氮化製各Si3N4粉的工藝進行瞭研究,氮化溫度範圍為1623～1823 K,氮化時間範圍為0～20 min.藉助XRD、SEM等檢測方法,分析瞭氮化溫度和氮化時間等因素對氮化過程的影響.基于不同氮化溫度下硅的轉化率與氮化時間的關繫,利用粒徑不變的縮芯模型,建立瞭一種簡化的硅氮反應模型,該模型顯示齣硅的轉化率隨時間呈漸近線指數趨勢.併利用該模型計算得齣瞭硅粉常壓直接氮化閤成氮化硅粉的一些反應動力學參數:Arrhenius公式中指前因子為5.56×1012cm/s;活化能為534 kJ/mol;有效擴散繫數為6.2×10-8cm2/s;以及反應速率常數的計算公式.
이평균립경위2.8 μm적규분위원료,첨가담화규분작위희석제,대상압담기하직접담화제각Si3N4분적공예진행료연구,담화온도범위위1623～1823 K,담화시간범위위0～20 min.차조XRD、SEM등검측방법,분석료담화온도화담화시간등인소대담화과정적영향.기우불동담화온도하규적전화솔여담화시간적관계,이용립경불변적축심모형,건립료일충간화적규담반응모형,해모형현시출규적전화솔수시간정점근선지수추세.병이용해모형계산득출료규분상압직접담화합성담화규분적일사반응동역학삼수:Arrhenius공식중지전인자위5.56×1012cm/s;활화능위534 kJ/mol;유효확산계수위6.2×10-8cm2/s;이급반응속솔상수적계산공식.
