计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2009年
9期
13-16
,共4页
微光学元件%检测%几何参数
微光學元件%檢測%幾何參數
미광학원건%검측%궤하삼수
分析了连续表面微透镜阵列的几何参量和光学性能的检测方法,介绍了最新的ISO14480系列标准.针对典型的微镜阵列元件,给出其详细结构尺寸,从而建立了一套通过测试元件的几何参量、加工误差来综合评估微光学元件性能的方法.
分析瞭連續錶麵微透鏡陣列的幾何參量和光學性能的檢測方法,介紹瞭最新的ISO14480繫列標準.針對典型的微鏡陣列元件,給齣其詳細結構呎吋,從而建立瞭一套通過測試元件的幾何參量、加工誤差來綜閤評估微光學元件性能的方法.
분석료련속표면미투경진렬적궤하삼량화광학성능적검측방법,개소료최신적ISO14480계렬표준.침대전형적미경진렬원건,급출기상세결구척촌,종이건립료일투통과측시원건적궤하삼량、가공오차래종합평고미광학원건성능적방법.
