广东科技
廣東科技
엄동과기
GUANGDONG SCIENCE & TECHNOLOGY
2009年
18期
70-71
,共2页
洁净室%悬浮粒子%不确定度
潔淨室%懸浮粒子%不確定度
길정실%현부입자%불학정도
目的:评定尘埃粒子计数器测量洁净室中悬浮粒子结果的不确定度.方法:建立测量过程中的数学模型,对过程中的误差进行辨别,分析测量过程中的不确定度.结果:粒径≥0.5μm的粒子其测定结果的相对扩展不确定度为0.4799;粒径≥5μm的粒子其测定结果的相对扩展不确定度为0.4804.
目的:評定塵埃粒子計數器測量潔淨室中懸浮粒子結果的不確定度.方法:建立測量過程中的數學模型,對過程中的誤差進行辨彆,分析測量過程中的不確定度.結果:粒徑≥0.5μm的粒子其測定結果的相對擴展不確定度為0.4799;粒徑≥5μm的粒子其測定結果的相對擴展不確定度為0.4804.
목적:평정진애입자계수기측량길정실중현부입자결과적불학정도.방법:건립측량과정중적수학모형,대과정중적오차진행변별,분석측량과정중적불학정도.결과:립경≥0.5μm적입자기측정결과적상대확전불학정도위0.4799;립경≥5μm적입자기측정결과적상대확전불학정도위0.4804.
