传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
4期
92-93,96
,共3页
张丹%丁桂甫%蔡玉丽%王艳%杨卓青
張丹%丁桂甫%蔡玉麗%王豔%楊卓青
장단%정계보%채옥려%왕염%양탁청
光纤连接器%微机电系统%双层薄膜
光纖連接器%微機電繫統%雙層薄膜
광섬련접기%미궤전계통%쌍층박막
介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅V型槽.双层结构在常温下作为压制光纤的盖板,通电后作为单稳态电热驱动器,盖板翘曲,放人或取出光纤.利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件,对热驱动器部件的性能进行了分析与仿真.利用表面硅工艺和体硅工艺制备出核心驱动部分,检测盖板翘曲情况下性能.
介紹一種基于MEMS技術的主動式光纖連接器,上層為雙層結構電熱驅動器,下層為硅V型槽.雙層結構在常溫下作為壓製光纖的蓋闆,通電後作為單穩態電熱驅動器,蓋闆翹麯,放人或取齣光纖.利用Ansys有限元分析軟件併結閤工藝條件,對熱驅動器部件的性能進行瞭分析與倣真.利用錶麵硅工藝和體硅工藝製備齣覈心驅動部分,檢測蓋闆翹麯情況下性能.
개소일충기우MEMS기술적주동식광섬련접기,상층위쌍층결구전열구동기,하층위규V형조.쌍층결구재상온하작위압제광섬적개판,통전후작위단은태전열구동기,개판교곡,방인혹취출광섬.이용Ansys유한원분석연건병결합공예조건,대열구동기부건적성능진행료분석여방진.이용표면규공예화체규공예제비출핵심구동부분,검측개판교곡정황하성능.
