CAJ | 학술논문

万方数据

暖通空调 난통공조
HEATING,VENTILATING & AIR CONDITIONING
2008年 11期 1-6 ,共6页

曹国庆%许钟麟%张益昭%张彦国%汪亚兵%欧少华%蔡正明%沈晋明

조국경%허종린%장익소%장언국%왕아병%구소화%채정명%침진명

洁净室%气密性%压力衰减%半衰期%小时泄漏率潔淨室%氣密性%壓力衰減%半衰期%小時洩漏率
길정실%기밀성%압력쇠감%반쇠기%소시설루솔

分析了在正、负压洁净室进行洁净室气密性验证的重要性,对洁净室气密性相关问题进行了理论计算,给出了具体检测方法,并进行了实验研究.结果表明,一个密封很好的洁净室,500 Pa压力的半衰期不足5 min,小时泄漏率不到10%.
분석료재정、부압길정실진행길정실기밀성험증적중요성,대길정실기밀성상관문제진행료이론계산,급출료구체검측방법,병진행료실험연구.결과표명,일개밀봉흔호적길정실,500 Pa압력적반쇠기불족5 min,소시설루솔불도10%.