集成光学非球面消球差双凸波导透镜的研制
집성광학비구면소구차쌍철파도투경적연제
Development of Integrated Optical Aplanatic Double-convex Aspherical Waveguide Lens
  • 万方数据
    光电工程 광전공정
    OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
    2008年 10期 98-101,115 ,共5页

    恩德%徐可欣%陈才和%崔宇明%斯琴%王金武%赵亚兵

    은덕%서가흔%진재화%최우명%사금%왕금무%조아병

    集成光学%非球面消球差双凸波导透镜%钛扩散铌酸锂%质子交换%衍射极限 集成光學%非毬麵消毬差雙凸波導透鏡%鈦擴散鈮痠鋰%質子交換%衍射極限
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    针对微透镜制作采用的球透镜研磨,多组分玻璃基板离子交换,结晶化玻璃基板光热法,本文提出非球匠消球差双凸波导透镜设计、制备及参数测试方法.该方法根据集成光学原理,研制了一种非球面消球差双凸波哥透镜.该透镜数值孔径大,放大倍数高,接近衍射极限,采用光刻、复制工艺,结构简单,一致性好.实验结幂表明,NA=0.35,β=6.932,光强分布与理论值一致,达到设计要求.
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