大众科技
大衆科技
대음과기
DAZHONG KEJI
2008年
11期
27-29
,共3页
椭偏法%消光法%费涅尔公式%复振幅
橢偏法%消光法%費涅爾公式%複振幅
타편법%소광법%비열이공식%복진폭
文章首先说明了薄膜光学特性的测量在实际应用中的重要性,然后提出薄膜光学特性测量的方法--椭圆偏振法,详细推导了在用消光法计算薄膜光学特性时各参量的计算公式,并时其进行了一定的简化,使其更容易满足实际应用的要求.最后进一步分析了在实际应用中薄膜厚度和折射率的测量与计算方法.
文章首先說明瞭薄膜光學特性的測量在實際應用中的重要性,然後提齣薄膜光學特性測量的方法--橢圓偏振法,詳細推導瞭在用消光法計算薄膜光學特性時各參量的計算公式,併時其進行瞭一定的簡化,使其更容易滿足實際應用的要求.最後進一步分析瞭在實際應用中薄膜厚度和摺射率的測量與計算方法.
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