功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
2期
467-471
,共5页
伍晓明%方华军%林建辉%任天令%刘理天
伍曉明%方華軍%林建輝%任天令%劉理天
오효명%방화군%림건휘%임천령%류리천
振动能量收集%MEMS%压电%悬臂梁
振動能量收集%MEMS%壓電%懸臂樑
진동능량수집%MEMS%압전%현비량
本文介绍了一种MEMS悬臂梁器件,将环境中的振动机械能转化为电能.该悬臂梁的主体材料为单晶硅,其上覆盖一层用Sol-Gel法制备的PZT压电材料,利用压电材料的正压电效应实现机电能量的转换.论文给出了悬臂梁式振动能量收集器的一个简单理论模型.器件采用(110)硅基片,有利于通过湿法腐蚀制备质量块.质量块可以用来降低器件的谐振频率,并提高输出电功率.尺寸参数为3600μm×270 μm的器件样品的测试结果表明,在其谐振频率1673Hz,振幅为11nm的振动条件下,该器件的最大输出功率大于1nW,即0.11 μW/cm2.
本文介紹瞭一種MEMS懸臂樑器件,將環境中的振動機械能轉化為電能.該懸臂樑的主體材料為單晶硅,其上覆蓋一層用Sol-Gel法製備的PZT壓電材料,利用壓電材料的正壓電效應實現機電能量的轉換.論文給齣瞭懸臂樑式振動能量收集器的一箇簡單理論模型.器件採用(110)硅基片,有利于通過濕法腐蝕製備質量塊.質量塊可以用來降低器件的諧振頻率,併提高輸齣電功率.呎吋參數為3600μm×270 μm的器件樣品的測試結果錶明,在其諧振頻率1673Hz,振幅為11nm的振動條件下,該器件的最大輸齣功率大于1nW,即0.11 μW/cm2.
본문개소료일충MEMS현비량기건,장배경중적진동궤계능전화위전능.해현비량적주체재료위단정규,기상복개일층용Sol-Gel법제비적PZT압전재료,이용압전재료적정압전효응실현궤전능량적전환.논문급출료현비량식진동능량수집기적일개간단이론모형.기건채용(110)규기편,유리우통과습법부식제비질량괴.질량괴가이용래강저기건적해진빈솔,병제고수출전공솔.척촌삼수위3600μm×270 μm적기건양품적측시결과표명,재기해진빈솔1673Hz,진폭위11nm적진동조건하,해기건적최대수출공솔대우1nW,즉0.11 μW/cm2.
