传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
7期
1093-1096
,共4页
王海燕%李隆玉%董永芬%李新建
王海燕%李隆玉%董永芬%李新建
왕해연%리륭옥%동영분%리신건
γ-Fe2O3%硅纳米孔柱阵列%湿度传感器
γ-Fe2O3%硅納米孔柱陣列%濕度傳感器
γ-Fe2O3%규납미공주진렬%습도전감기
利用匀胶旋涂技术,将微乳-水热法制备出的、粒径均匀可控的γ-Fe2O3纳米颗粒沉积在具有独特微纳双重结构的硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)基片上,制成γ-Fe2O3/Si-NPA湿度传感元件,并对其进行湿度感应测试结果发现,当环境相对湿度(RH)从11%升高到95%时,该元件的电容和电阻分别呈高灵敏度的单值增加和单值降低.在100 Hz的电流频率下,元件的高湿电容值升为低湿电容值的12 500%,低湿电阻值是高湿电阻值的51 515%.分析表明,微乳-水热法对γ-Fe2O3纳米颗粒尺寸的控制以及Si-NPA衬底的独特结构是提高元件灵敏度的主要原因.
利用勻膠鏇塗技術,將微乳-水熱法製備齣的、粒徑均勻可控的γ-Fe2O3納米顆粒沉積在具有獨特微納雙重結構的硅納米孔柱陣列(Si-NPA)基片上,製成γ-Fe2O3/Si-NPA濕度傳感元件,併對其進行濕度感應測試結果髮現,噹環境相對濕度(RH)從11%升高到95%時,該元件的電容和電阻分彆呈高靈敏度的單值增加和單值降低.在100 Hz的電流頻率下,元件的高濕電容值升為低濕電容值的12 500%,低濕電阻值是高濕電阻值的51 515%.分析錶明,微乳-水熱法對γ-Fe2O3納米顆粒呎吋的控製以及Si-NPA襯底的獨特結構是提高元件靈敏度的主要原因.
이용균효선도기술,장미유-수열법제비출적、립경균균가공적γ-Fe2O3납미과립침적재구유독특미납쌍중결구적규납미공주진렬(Si-NPA)기편상,제성γ-Fe2O3/Si-NPA습도전감원건,병대기진행습도감응측시결과발현,당배경상대습도(RH)종11%승고도95%시,해원건적전용화전조분별정고령민도적단치증가화단치강저.재100 Hz적전류빈솔하,원건적고습전용치승위저습전용치적12 500%,저습전조치시고습전조치적51 515%.분석표명,미유-수열법대γ-Fe2O3납미과립척촌적공제이급Si-NPA츤저적독특결구시제고원건령민도적주요원인.
