CAJ | 학술논문

万方数据

半导体学报 반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年 z1期 509-512 ,共4页

宋倩%许兴胜%胡海洋%鲁琳%王春霞%杜伟%刘发民%陈弘达

송천%허흥성%호해양%로림%왕춘하%두위%류발민%진홍체

光子晶体%垂直腔面发射激光器%光子面阵集成%谐振腔增强型光电探测器光子晶體%垂直腔麵髮射激光器%光子麵陣集成%諧振腔增彊型光電探測器
광자정체%수직강면발사격광기%광자면진집성%해진강증강형광전탐측기

介绍了制作光子晶体垂直腔面发射激光器实验研究的主要内容,包括材料的光谱测试分析、氧化工艺以及制作光子晶体等,成功制作了波长在980nm附近的光子晶体垂直腔面发射激光器.在此基础上,采用高精度湿法腐蚀和感应耦合等离子体干法刻蚀技术,研究制作了基于垂直腔面发射激光器外延材料的光子晶体谐振腔增强型探测器.
개소료제작광자정체수직강면발사격광기실험연구적주요내용,포괄재료적광보측시분석、양화공예이급제작광자정체등,성공제작료파장재980nm부근적광자정체수직강면발사격광기.재차기출상,채용고정도습법부식화감응우합등리자체간법각식기술,연구제작료기우수직강면발사격광기외연재료적광자정체해진강증강형탐측기.