材料热处理学报
材料熱處理學報
재료열처이학보
TRANSACTIONS OF MATERIALS AND HEAT TREATMENT
2007年
z1期
275-278
,共4页
张际亮%孙学鹏%郦剑%沃银花
張際亮%孫學鵬%酈劍%沃銀花
장제량%손학붕%역검%옥은화
SiOx薄膜%Al合金%化学气相沉积%显微硬度%结合强度%表面形貌
SiOx薄膜%Al閤金%化學氣相沉積%顯微硬度%結閤彊度%錶麵形貌
SiOx박막%Al합금%화학기상침적%현미경도%결합강도%표면형모
采用常压化学气相沉积(APCVD)技术在铝基底上成功制备了改性SiOx陶瓷薄膜.通过显微硬度测试与涂层附着力自动划痕测试定量研究了薄膜显微硬度和膜基结合强度,利用光学显微镜(OM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜的原始表面以及压痕、划痕形貌.结果表明,SiOx膜层由大小不均匀的等轴状颗粒团聚堆垛而成,退火处理时长大或融合成片状;SiOx薄膜有效提高纯铝表面的硬度,并能通过SiOx薄膜变形以松弛表层应力,抑制脆性裂纹产生;划痕测试证明基底和薄膜具有很高的结合强度,薄膜与基底发生塑性变形而不剥离.
採用常壓化學氣相沉積(APCVD)技術在鋁基底上成功製備瞭改性SiOx陶瓷薄膜.通過顯微硬度測試與塗層附著力自動劃痕測試定量研究瞭薄膜顯微硬度和膜基結閤彊度,利用光學顯微鏡(OM)和掃描電子顯微鏡(SEM)觀察瞭薄膜的原始錶麵以及壓痕、劃痕形貌.結果錶明,SiOx膜層由大小不均勻的等軸狀顆粒糰聚堆垛而成,退火處理時長大或融閤成片狀;SiOx薄膜有效提高純鋁錶麵的硬度,併能通過SiOx薄膜變形以鬆弛錶層應力,抑製脆性裂紋產生;劃痕測試證明基底和薄膜具有很高的結閤彊度,薄膜與基底髮生塑性變形而不剝離.
채용상압화학기상침적(APCVD)기술재려기저상성공제비료개성SiOx도자박막.통과현미경도측시여도층부착력자동화흔측시정량연구료박막현미경도화막기결합강도,이용광학현미경(OM)화소묘전자현미경(SEM)관찰료박막적원시표면이급압흔、화흔형모.결과표명,SiOx막층유대소불균균적등축상과립단취퇴타이성,퇴화처리시장대혹융합성편상;SiOx박막유효제고순려표면적경도,병능통과SiOx박막변형이송이표층응력,억제취성렬문산생;화흔측시증명기저화박막구유흔고적결합강도,박막여기저발생소성변형이불박리.
