浙江理工大学学报
浙江理工大學學報
절강리공대학학보
JOURNAL OF ZHEJIANG SCI-TECH UNIVERSITY
2007年
5期
545-548
,共4页
汪新颜%金达莱%马照军%王勇%姚奎鸿
汪新顏%金達萊%馬照軍%王勇%姚奎鴻
왕신안%금체래%마조군%왕용%요규홍
硅烷%热CVD%流量%硅粉
硅烷%熱CVD%流量%硅粉
규완%열CVD%류량%규분
纳米硅粉的制备方法很多,但采用硅烷(SiH4)热CVD法制备纳米硅粉较于其它方法有很多优势.文章研究了在特定的温度和压力下硅烷流量对硅粉制备的影响,并对制得的硅粉进行XRD、SEM和粒径分析表征,从而获得硅烷热CVD法制备硅粉一些关于硅烷流量等关键控制参数,为该法多参数优化控制以及将来的大规模工业应用做准备.
納米硅粉的製備方法很多,但採用硅烷(SiH4)熱CVD法製備納米硅粉較于其它方法有很多優勢.文章研究瞭在特定的溫度和壓力下硅烷流量對硅粉製備的影響,併對製得的硅粉進行XRD、SEM和粒徑分析錶徵,從而穫得硅烷熱CVD法製備硅粉一些關于硅烷流量等關鍵控製參數,為該法多參數優化控製以及將來的大規模工業應用做準備.
납미규분적제비방법흔다,단채용규완(SiH4)열CVD법제비납미규분교우기타방법유흔다우세.문장연구료재특정적온도화압력하규완류량대규분제비적영향,병대제득적규분진행XRD、SEM화립경분석표정,종이획득규완열CVD법제비규분일사관우규완류량등관건공제삼수,위해법다삼수우화공제이급장래적대규모공업응용주준비.
