真空
真空
진공
VACUUM
2007年
4期
59-61
,共3页
王勇%张耀锋%尉伟%范乐%王建平%耿会平
王勇%張耀鋒%尉偉%範樂%王建平%耿會平
왕용%장요봉%위위%범악%왕건평%경회평
热出气率%TiN膜%真空材料%表面处理
熱齣氣率%TiN膜%真空材料%錶麵處理
열출기솔%TiN막%진공재료%표면처리
简要叙述了小孔流量法测量材料出气率实验的原理和实验装置,给出了不锈钢溅射镀TiN膜在不同情况下的热出气率,并对影响不锈钢溅射镀TiN膜热出气率情况的各种因素进行了分析,为使用溅射镀TiN膜表面处理的储存环真空室的设计提供了依据.
簡要敘述瞭小孔流量法測量材料齣氣率實驗的原理和實驗裝置,給齣瞭不鏽鋼濺射鍍TiN膜在不同情況下的熱齣氣率,併對影響不鏽鋼濺射鍍TiN膜熱齣氣率情況的各種因素進行瞭分析,為使用濺射鍍TiN膜錶麵處理的儲存環真空室的設計提供瞭依據.
간요서술료소공류량법측량재료출기솔실험적원리화실험장치,급출료불수강천사도TiN막재불동정황하적열출기솔,병대영향불수강천사도TiN막열출기솔정황적각충인소진행료분석,위사용천사도TiN막표면처리적저존배진공실적설계제공료의거.
