重庆大学学报（自然科学版）
重慶大學學報（自然科學版）
중경대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHONGQING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
6期
35-38
,共4页
喻江涛%李明伟%王晓丁%程旻
喻江濤%李明偉%王曉丁%程旻
유강도%리명위%왕효정%정민
纳米薄膜厚度%原子力显微镜%划痕处理%测量
納米薄膜厚度%原子力顯微鏡%劃痕處理%測量
납미박막후도%원자력현미경%화흔처리%측량
提出了一种量测纳米薄膜厚度的方法,即根据纳米薄膜与其基底间存在的力学性质上的差异,选用合适的刻划工具,通过对薄膜直接进行刻划,产生划透薄膜且不影响基底的划痕,再运用原子力显微镜扫描,得到划痕区域的微观形貌,由此计算出纳米薄膜的厚度.用该方法对TiO2纳米薄膜进行测量,得到薄膜的平均厚度为71.6 nm,与相关文献报道的用其它方法测得的薄膜厚度值较吻合.作为测量纳米薄膜厚度的又一方法,此法具有适用范围广,厚度图像直观,操作和计算均较为简单,精度较高的特点.
提齣瞭一種量測納米薄膜厚度的方法,即根據納米薄膜與其基底間存在的力學性質上的差異,選用閤適的刻劃工具,通過對薄膜直接進行刻劃,產生劃透薄膜且不影響基底的劃痕,再運用原子力顯微鏡掃描,得到劃痕區域的微觀形貌,由此計算齣納米薄膜的厚度.用該方法對TiO2納米薄膜進行測量,得到薄膜的平均厚度為71.6 nm,與相關文獻報道的用其它方法測得的薄膜厚度值較吻閤.作為測量納米薄膜厚度的又一方法,此法具有適用範圍廣,厚度圖像直觀,操作和計算均較為簡單,精度較高的特點.
제출료일충량측납미박막후도적방법,즉근거납미박막여기기저간존재적역학성질상적차이,선용합괄적각화공구,통과대박막직접진행각화,산생화투박막차불영향기저적화흔,재운용원자력현미경소묘,득도화흔구역적미관형모,유차계산출납미박막적후도.용해방법대TiO2납미박막진행측량,득도박막적평균후도위71.6 nm,여상관문헌보도적용기타방법측득적박막후도치교문합.작위측량납미박막후도적우일방법,차법구유괄용범위엄,후도도상직관,조작화계산균교위간단,정도교고적특점.
