材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2007年
6期
1-3,8
,共4页
薄膜%自支撑%脱膜剂
薄膜%自支撐%脫膜劑
박막%자지탱%탈막제
能否成功制备自支撑薄膜不仅制约着激光和核物理研究的发展,而且限制了原子核化学试验的开展.自支撑薄膜的制备方法与普通薄膜的制备方法有很大的区别,经过近50年的发展,已经形成了一系列独特的制备方案.在成膜方面,其研究热点集中在如何降低薄膜内应力和提高材料的利用率上;同时各种可溶性衬底和脱膜剂对自支撑膜的质量有很大的影响,需要根据膜材料进行选择.总结了常见的衬底和脱膜剂及其特点,并介绍了常用的脱膜方法--漂浮法.指出自支撑薄膜制备所面临的问题主要是进一步降低膜的粗糙度,制备低应力的自支撑多层膜.
能否成功製備自支撐薄膜不僅製約著激光和覈物理研究的髮展,而且限製瞭原子覈化學試驗的開展.自支撐薄膜的製備方法與普通薄膜的製備方法有很大的區彆,經過近50年的髮展,已經形成瞭一繫列獨特的製備方案.在成膜方麵,其研究熱點集中在如何降低薄膜內應力和提高材料的利用率上;同時各種可溶性襯底和脫膜劑對自支撐膜的質量有很大的影響,需要根據膜材料進行選擇.總結瞭常見的襯底和脫膜劑及其特點,併介紹瞭常用的脫膜方法--漂浮法.指齣自支撐薄膜製備所麵臨的問題主要是進一步降低膜的粗糙度,製備低應力的自支撐多層膜.
능부성공제비자지탱박막불부제약착격광화핵물리연구적발전,이차한제료원자핵화학시험적개전.자지탱박막적제비방법여보통박막적제비방법유흔대적구별,경과근50년적발전,이경형성료일계렬독특적제비방안.재성막방면,기연구열점집중재여하강저박막내응력화제고재료적이용솔상;동시각충가용성츤저화탈막제대자지탱막적질량유흔대적영향,수요근거막재료진행선택.총결료상견적츤저화탈막제급기특점,병개소료상용적탈막방법--표부법.지출자지탱박막제비소면림적문제주요시진일보강저막적조조도,제비저응력적자지탱다층막.
