化学工业与工程
化學工業與工程
화학공업여공정
CHEMICAL INDUSTRY AND ENGINEERING
2007年
1期
86-90,94
,共6页
彭立培%王少波%李绍波%付嫚
彭立培%王少波%李紹波%付嫚
팽립배%왕소파%리소파%부만
三氟化氮%纯化%精馏%吸收%吸附
三氟化氮%純化%精餾%吸收%吸附
삼불화담%순화%정류%흡수%흡부
介绍了三氟化氮(NF3)的基本物化性质及生产方法.为了满足电子工业对其纯度要求,采用的三氟化氮纯化方法有:低温精馏法、共沸精馏法、吸收法、选择吸附法以及各种方法的联用技术.
介紹瞭三氟化氮(NF3)的基本物化性質及生產方法.為瞭滿足電子工業對其純度要求,採用的三氟化氮純化方法有:低溫精餾法、共沸精餾法、吸收法、選擇吸附法以及各種方法的聯用技術.
개소료삼불화담(NF3)적기본물화성질급생산방법.위료만족전자공업대기순도요구,채용적삼불화담순화방법유:저온정류법、공비정류법、흡수법、선택흡부법이급각충방법적련용기술.
