计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2005年
11期
27-29
,共3页
刘剑霜%谢锋%胡刚%陈一%盛克平
劉劍霜%謝鋒%鬍剛%陳一%盛剋平
류검상%사봉%호강%진일%성극평
透射电子显微镜%放大倍率%校准
透射電子顯微鏡%放大倍率%校準
투사전자현미경%방대배솔%교준
针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法.该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广.
針對集成電路製造中TEM檢測分析的高正確度要求,本文介紹瞭一種高分辨力電子顯微鏡放大倍率的校準方法.該方法簡單、方便,能夠有效地減少繫統誤差,結果可靠,適用範圍廣.
침대집성전로제조중TEM검측분석적고정학도요구,본문개소료일충고분변력전자현미경방대배솔적교준방법.해방법간단、방편,능구유효지감소계통오차,결과가고,괄용범위엄.
