仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2005年
8期
1119-1120
,共2页
廖小华%葛杨翔%李玉和%李庆祥
廖小華%葛楊翔%李玉和%李慶祥
료소화%갈양상%리옥화%리경상
划痕%纳米尺度%轻敲模式%外差干涉%原子力显微镜
劃痕%納米呎度%輕敲模式%外差榦涉%原子力顯微鏡
화흔%납미척도%경고모식%외차간섭%원자력현미경
电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高.为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕检测实验系统.初步实验表明:检测系统达到了纳米级精度,满足了划痕检测性能要求.
電子產品高集成度與高性能化的髮展,對超精錶麵和亞錶麵無損傷性要求越來越高.為瞭檢測納米呎度的錶麵微劃痕,基于原子力顯微鏡思想,選用硅微探針工作在輕敲模式,通過外差榦涉測量振幅變化,z嚮反饋實現微劃痕成像,構建瞭一套微劃痕檢測實驗繫統.初步實驗錶明:檢測繫統達到瞭納米級精度,滿足瞭劃痕檢測性能要求.
전자산품고집성도여고성능화적발전,대초정표면화아표면무손상성요구월래월고.위료검측납미척도적표면미화흔,기우원자력현미경사상,선용규미탐침공작재경고모식,통과외차간섭측량진폭변화,z향반궤실현미화흔성상,구건료일투미화흔검측실험계통.초보실험표명:검측계통체도료납미급정도,만족료화흔검측성능요구.
