材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2005年
5期
595-597
,共3页
曾志翔%李红轩%王立平%陈丽%徐洮
曾誌翔%李紅軒%王立平%陳麗%徐洮
증지상%리홍헌%왕립평%진려%서조
DLC薄膜%气氛%摩擦系数%转移层
DLC薄膜%氣氛%摩抆繫數%轉移層
DLC박막%기분%마찰계수%전이층
用射频等离子体化学气相沉积法(RF-PECVD)制备了含氢类金刚石薄膜(DLC).采用表面轮廓仪和纳米压痕仪分别测量膜的厚度和硬度.通过控制摩擦环境气氛对DLC薄膜和钢球对磨的摩擦系数进行了系统研究.利用光学显微镜和扫描电镜(SEM)分析了磨痕及磨斑的形貌,对DLC薄膜在不同气氛下的摩擦现象进行了表征和解释.结果表明,DLC薄膜的摩擦学行为与气氛中的O2、H2O和N2有关,其中N2的存在是DLC薄膜具有超低摩擦系数的重要原因.
用射頻等離子體化學氣相沉積法(RF-PECVD)製備瞭含氫類金剛石薄膜(DLC).採用錶麵輪廓儀和納米壓痕儀分彆測量膜的厚度和硬度.通過控製摩抆環境氣氛對DLC薄膜和鋼毬對磨的摩抆繫數進行瞭繫統研究.利用光學顯微鏡和掃描電鏡(SEM)分析瞭磨痕及磨斑的形貌,對DLC薄膜在不同氣氛下的摩抆現象進行瞭錶徵和解釋.結果錶明,DLC薄膜的摩抆學行為與氣氛中的O2、H2O和N2有關,其中N2的存在是DLC薄膜具有超低摩抆繫數的重要原因.
용사빈등리자체화학기상침적법(RF-PECVD)제비료함경류금강석박막(DLC).채용표면륜곽의화납미압흔의분별측량막적후도화경도.통과공제마찰배경기분대DLC박막화강구대마적마찰계수진행료계통연구.이용광학현미경화소묘전경(SEM)분석료마흔급마반적형모,대DLC박막재불동기분하적마찰현상진행료표정화해석.결과표명,DLC박막적마찰학행위여기분중적O2、H2O화N2유관,기중N2적존재시DLC박막구유초저마찰계수적중요원인.
