物理学报
物理學報
물이학보
2005年
5期
2252-2255
,共4页
黄伟%张利春%高玉芝%金海岩
黃偉%張利春%高玉芝%金海巖
황위%장리춘%고옥지%금해암
镍硅化物%快速热退火%x射线衍射分析%卢瑟福背散射
鎳硅化物%快速熱退火%x射線衍射分析%盧瑟福揹散射
얼규화물%쾌속열퇴화%x사선연사분석%로슬복배산사
报导了在镍薄膜中掺入少量Mo提高了镍硅化物的热稳定性.结果表明,经650-800℃快速热退火形成的Ni(Mo)Si硅化物薄膜电阻值较低,约为2.4(Ω/□).XRD分析表明薄膜中只存在NiSi相,而没有NiSi2生成.由吉布斯自由能理论分析表明在Ni薄膜中掺人5.9%Mo对改善Ni硅化物热稳定性起到至关重要的作用.经650-800℃快速热退火后的Ni(Mo)Si/Si肖特基二极管电学特性良好,势垒高度ΦB为0.64-0.66eV,理想因子接近于1,更进一步证明掺少量的Mo能够改善NiSi薄膜的热稳定性.
報導瞭在鎳薄膜中摻入少量Mo提高瞭鎳硅化物的熱穩定性.結果錶明,經650-800℃快速熱退火形成的Ni(Mo)Si硅化物薄膜電阻值較低,約為2.4(Ω/□).XRD分析錶明薄膜中隻存在NiSi相,而沒有NiSi2生成.由吉佈斯自由能理論分析錶明在Ni薄膜中摻人5.9%Mo對改善Ni硅化物熱穩定性起到至關重要的作用.經650-800℃快速熱退火後的Ni(Mo)Si/Si肖特基二極管電學特性良好,勢壘高度ΦB為0.64-0.66eV,理想因子接近于1,更進一步證明摻少量的Mo能夠改善NiSi薄膜的熱穩定性.
보도료재얼박막중참입소량Mo제고료얼규화물적열은정성.결과표명,경650-800℃쾌속열퇴화형성적Ni(Mo)Si규화물박막전조치교저,약위2.4(Ω/□).XRD분석표명박막중지존재NiSi상,이몰유NiSi2생성.유길포사자유능이론분석표명재Ni박막중참인5.9%Mo대개선Ni규화물열은정성기도지관중요적작용.경650-800℃쾌속열퇴화후적Ni(Mo)Si/Si초특기이겁관전학특성량호,세루고도ΦB위0.64-0.66eV,이상인자접근우1,경진일보증명참소량적Mo능구개선NiSi박막적열은정성.
