电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2005年
3期
47-50
,共4页
电子技术%RF MEMS开关%桥膜%驱动电压%弹性系数
電子技術%RF MEMS開關%橋膜%驅動電壓%彈性繫數
전자기술%RF MEMS개관%교막%구동전압%탄성계수
桥膜弹性系数是影响RF MEMS开关启动电压的重要参量.对RF MEMS开关进行静态力学分析,指出常用的桥膜弹性系数的计算公式未考虑开关实际采用的共面波导(CPW)结构.考虑桥膜上实际的静电力分布,修正了桥膜弹性系数的计算公式.根据修正后的计算公式,进一步探讨了减小桥膜弹性系数的方法,以降低开关的启动电压.
橋膜彈性繫數是影響RF MEMS開關啟動電壓的重要參量.對RF MEMS開關進行靜態力學分析,指齣常用的橋膜彈性繫數的計算公式未攷慮開關實際採用的共麵波導(CPW)結構.攷慮橋膜上實際的靜電力分佈,脩正瞭橋膜彈性繫數的計算公式.根據脩正後的計算公式,進一步探討瞭減小橋膜彈性繫數的方法,以降低開關的啟動電壓.
교막탄성계수시영향RF MEMS개관계동전압적중요삼량.대RF MEMS개관진행정태역학분석,지출상용적교막탄성계수적계산공식미고필개관실제채용적공면파도(CPW)결구.고필교막상실제적정전력분포,수정료교막탄성계수적계산공식.근거수정후적계산공식,진일보탐토료감소교막탄성계수적방법,이강저개관적계동전압.
