CAJ | 학술논문

分析了传统机械进给机构的特点,设计了一种集磁悬浮和线性驱动技术为一体的精密进给平台机构,此机构采用直线同步电机对悬浮的平台机构提供驱动力.这种驱动方式避免了传统驱动方式造成的摩擦、弹性变形、滞后和非线性误差,实现了平台进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向.针对磁悬浮平台进给机构设计了直线同步电机的结构,并对直线电机产生的磁力进行分析计算.直线驱动技术在磁悬浮平台进给机构中的应用使进给系统具有响应快速、刚度高以及定位精确的特点,能够满足微电子设备高精度、高效率和超洁净加工的需要.
분석료전통궤계진급궤구적특점,설계료일충집자현부화선성구동기술위일체적정밀진급평태궤구,차궤구채용직선동보전궤대현부적평태궤구제공구동력.저충구동방식피면료전통구동방식조성적마찰、탄성변형、체후화비선성오차,실현료평태진급궤구재수평화수직량방향적무접촉지탱화도향.침대자현부평태진급궤구설계료직선동보전궤적결구,병대직선전궤산생적자력진행분석계산.직선구동기술재자현부평태진급궤구중적응용사진급계통구유향응쾌속、강도고이급정위정학적특점,능구만족미전자설비고정도、고효솔화초길정가공적수요.