北京信息科技大学学报(自然科学版)
北京信息科技大學學報(自然科學版)
북경신식과기대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF BEIJING INFORMATION(SCIENCE & TECHNOLOGY UNIVERSITY)
2010年
2期
23-26
,共4页
Mott截面%Bethe修正公式%Monte Carlo 模拟%低能电子束
Mott截麵%Bethe脩正公式%Monte Carlo 模擬%低能電子束
Mott절면%Bethe수정공식%Monte Carlo 모의%저능전자속
采用Mott弹性散射截面和Monte Carlo计算方法进行模拟,将Joy和Lou的Bethe修正公式作为解决能量损失问题的非弹性散射模型.描述电子束入射固体过程,确定散射角、方位角、自由程和散射点处能量等参数.利用能量不超过5keV的低能电子束,模拟在不同厚度的抗蚀剂中进行的刻蚀过程,得到了不同能量电子束在衬底表面光刻的最佳抗蚀剂厚度.
採用Mott彈性散射截麵和Monte Carlo計算方法進行模擬,將Joy和Lou的Bethe脩正公式作為解決能量損失問題的非彈性散射模型.描述電子束入射固體過程,確定散射角、方位角、自由程和散射點處能量等參數.利用能量不超過5keV的低能電子束,模擬在不同厚度的抗蝕劑中進行的刻蝕過程,得到瞭不同能量電子束在襯底錶麵光刻的最佳抗蝕劑厚度.
채용Mott탄성산사절면화Monte Carlo계산방법진행모의,장Joy화Lou적Bethe수정공식작위해결능량손실문제적비탄성산사모형.묘술전자속입사고체과정,학정산사각、방위각、자유정화산사점처능량등삼수.이용능량불초과5keV적저능전자속,모의재불동후도적항식제중진행적각식과정,득도료불동능량전자속재츤저표면광각적최가항식제후도.
