原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2000年
4期
328-333
,共6页
钛膜氢化%热释放%离子束分析
鈦膜氫化%熱釋放%離子束分析
태막경화%열석방%리자속분석
用高能离子非卢瑟福背散射分析和前向反冲分析方法研究了C、O污染对Ti膜的吸放氢能力的影响.实验观测到,1.26×1016 cm-2C和2.6×1016 cm-2O的双重污染可使Ti膜在300 nm的范围内存在着低的H浓度区,使氢的热释放温度大大提高.表面镀Ni可显著增强Ti膜的吸放氢能力,使H在Ti膜中均匀地饱和分布,同时,将H的热释放温度降到了热力学分解温度附近.
用高能離子非盧瑟福揹散射分析和前嚮反遲分析方法研究瞭C、O汙染對Ti膜的吸放氫能力的影響.實驗觀測到,1.26×1016 cm-2C和2.6×1016 cm-2O的雙重汙染可使Ti膜在300 nm的範圍內存在著低的H濃度區,使氫的熱釋放溫度大大提高.錶麵鍍Ni可顯著增彊Ti膜的吸放氫能力,使H在Ti膜中均勻地飽和分佈,同時,將H的熱釋放溫度降到瞭熱力學分解溫度附近.
용고능리자비로슬복배산사분석화전향반충분석방법연구료C、O오염대Ti막적흡방경능력적영향.실험관측도,1.26×1016 cm-2C화2.6×1016 cm-2O적쌍중오염가사Ti막재300 nm적범위내존재착저적H농도구,사경적열석방온도대대제고.표면도Ni가현저증강Ti막적흡방경능력,사H재Ti막중균균지포화분포,동시,장H적열석방온도강도료열역학분해온도부근.
