清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
1999年
Z1期
62-65
,共4页
微阀门%微流量传感器%微泵%微流量控制系统%系统集成
微閥門%微流量傳感器%微泵%微流量控製繫統%繫統集成
미벌문%미류량전감기%미빙%미류량공제계통%계통집성
介绍了一种新型硅集成微型泵系统的工作原理、结构优化、电路设计、制作工艺流程和初步的实验结果.该系统为三片式结构,其中两片由体硅微机械加工技术形成,构成微止回阀门,另一片为集成铝硅双金属驱动结构.驱动结构的结构参数得到了优化设计,提高了工作效率.利用铝硅双金属驱动结构制作工艺的特点,在驱动结构上集成制作了微流量传感器和信号处理电路,实现了系统集成.该集成系统的制作工艺简单,所采用的微机械加工工艺与标准MOS工艺完全兼容.集成微型泵的外形尺寸为6mm×6mm×1mm,最大输出背压力为10kPa,最大流量可达到44μL/min.
介紹瞭一種新型硅集成微型泵繫統的工作原理、結構優化、電路設計、製作工藝流程和初步的實驗結果.該繫統為三片式結構,其中兩片由體硅微機械加工技術形成,構成微止迴閥門,另一片為集成鋁硅雙金屬驅動結構.驅動結構的結構參數得到瞭優化設計,提高瞭工作效率.利用鋁硅雙金屬驅動結構製作工藝的特點,在驅動結構上集成製作瞭微流量傳感器和信號處理電路,實現瞭繫統集成.該集成繫統的製作工藝簡單,所採用的微機械加工工藝與標準MOS工藝完全兼容.集成微型泵的外形呎吋為6mm×6mm×1mm,最大輸齣揹壓力為10kPa,最大流量可達到44μL/min.
개소료일충신형규집성미형빙계통적공작원리、결구우화、전로설계、제작공예류정화초보적실험결과.해계통위삼편식결구,기중량편유체규미궤계가공기술형성,구성미지회벌문,령일편위집성려규쌍금속구동결구.구동결구적결구삼수득도료우화설계,제고료공작효솔.이용려규쌍금속구동결구제작공예적특점,재구동결구상집성제작료미류량전감기화신호처리전로,실현료계통집성.해집성계통적제작공예간단,소채용적미궤계가공공예여표준MOS공예완전겸용.집성미형빙적외형척촌위6mm×6mm×1mm,최대수출배압력위10kPa,최대류량가체도44μL/min.
