硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
1998年
5期
592-597
,共6页
锆钛酸铅薄膜%金属有机物热分解%形成机理%晶粒生长
鋯鈦痠鉛薄膜%金屬有機物熱分解%形成機理%晶粒生長
고태산연박막%금속유궤물열분해%형성궤리%정립생장
采用金属有机物热分解(MOD)工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备锆钛酸铅(PZT)薄膜. XRD分析显示薄膜结晶状况良好,无焦绿石相存在. AES测量表明:薄膜成分沿膜厚均匀分布,膜中无碳存在,表面不富含铅. 分析了薄膜的形成机理,定性地解释了晶粒的生长过程.
採用金屬有機物熱分解(MOD)工藝在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備鋯鈦痠鉛(PZT)薄膜. XRD分析顯示薄膜結晶狀況良好,無焦綠石相存在. AES測量錶明:薄膜成分沿膜厚均勻分佈,膜中無碳存在,錶麵不富含鉛. 分析瞭薄膜的形成機理,定性地解釋瞭晶粒的生長過程.
채용금속유궤물열분해(MOD)공예재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비고태산연(PZT)박막. XRD분석현시박막결정상황량호,무초록석상존재. AES측량표명:박막성분연막후균균분포,막중무탄존재,표면불부함연. 분석료박막적형성궤리,정성지해석료정립적생장과정.
