红外
紅外
홍외
INFRARED
2010年
11期
11-14,24
,共5页
苏青峰%李东敏%史伟民%王林军%夏义本
囌青峰%李東敏%史偉民%王林軍%夏義本
소청봉%리동민%사위민%왕림군%하의본
红外椭偏%光学性能%折射率%金刚石薄膜
紅外橢偏%光學性能%摺射率%金剛石薄膜
홍외타편%광학성능%절사솔%금강석박막
椭圆偏振光谱法是一种非破坏性光谱技术.为了获得微波等离子体化学汽相沉积(MPCVD)金刚石薄膜的最佳沉积条件,用红外椭圆偏振光谱仪对MPCVD金刚石薄膜的红外光学性能进行了表征测量,并分析了衬底温度和反应室的压强对金刚石薄膜的红外光学性质的影响.当甲烷浓度不变,衬底温度为750℃,反应室的压强为4.0kPa时,金刚石膜的红外椭偏光学性质达到最佳,其折射率的平均值为2.393.研究结果表明,金刚石薄膜的光学性能与薄膜质量密切相关,同时也获得了最佳的金刚石薄膜工艺条件.
橢圓偏振光譜法是一種非破壞性光譜技術.為瞭穫得微波等離子體化學汽相沉積(MPCVD)金剛石薄膜的最佳沉積條件,用紅外橢圓偏振光譜儀對MPCVD金剛石薄膜的紅外光學性能進行瞭錶徵測量,併分析瞭襯底溫度和反應室的壓彊對金剛石薄膜的紅外光學性質的影響.噹甲烷濃度不變,襯底溫度為750℃,反應室的壓彊為4.0kPa時,金剛石膜的紅外橢偏光學性質達到最佳,其摺射率的平均值為2.393.研究結果錶明,金剛石薄膜的光學性能與薄膜質量密切相關,同時也穫得瞭最佳的金剛石薄膜工藝條件.
타원편진광보법시일충비파배성광보기술.위료획득미파등리자체화학기상침적(MPCVD)금강석박막적최가침적조건,용홍외타원편진광보의대MPCVD금강석박막적홍외광학성능진행료표정측량,병분석료츤저온도화반응실적압강대금강석박막적홍외광학성질적영향.당갑완농도불변,츤저온도위750℃,반응실적압강위4.0kPa시,금강석막적홍외타편광학성질체도최가,기절사솔적평균치위2.393.연구결과표명,금강석박막적광학성능여박막질량밀절상관,동시야획득료최가적금강석박막공예조건.
