物理学报
物理學報
물이학보
2002年
8期
1870-1874
,共5页
纳米金刚石薄膜%射频等离子体增强热丝化学气相沉积%光透过率
納米金剛石薄膜%射頻等離子體增彊熱絲化學氣相沉積%光透過率
납미금강석박막%사빈등리자체증강열사화학기상침적%광투과솔
采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积(RF-HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪观测薄膜的表面形貌和粗糙度,x射线衍射(XRD)和Raman光谱表征膜层的结构,并用紫外-可见-近红外光谱仪测量其光透过率.实验结果表明,衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性、表面粗糙度及光透过率均有很大程度的影响,其最佳值分别为700℃,2×133Pa和200W.在该最佳参量下经1h的生长即获得连续、平滑的纳米金刚石膜,其平均晶粒尺寸为约25nm,表面平均粗糙度仅为5.5nm,在近红外区的光透过率高达90%.
採用射頻等離子體增彊的熱絲化學氣相沉積(RF-HFCVD)技術在石英玻璃襯底上製備瞭錶麵光滑、晶粒緻密均勻的納米金剛石薄膜.用掃描電子顯微鏡(SEM)和檯階儀觀測薄膜的錶麵形貌和粗糙度,x射線衍射(XRD)和Raman光譜錶徵膜層的結構,併用紫外-可見-近紅外光譜儀測量其光透過率.實驗結果錶明,襯底溫度、反應氣壓及射頻功率對金剛石膜的結晶習性、錶麵粗糙度及光透過率均有很大程度的影響,其最佳值分彆為700℃,2×133Pa和200W.在該最佳參量下經1h的生長即穫得連續、平滑的納米金剛石膜,其平均晶粒呎吋為約25nm,錶麵平均粗糙度僅為5.5nm,在近紅外區的光透過率高達90%.
채용사빈등리자체증강적열사화학기상침적(RF-HFCVD)기술재석영파리츤저상제비료표면광활、정립치밀균균적납미금강석박막.용소묘전자현미경(SEM)화태계의관측박막적표면형모화조조도,x사선연사(XRD)화Raman광보표정막층적결구,병용자외-가견-근홍외광보의측량기광투과솔.실험결과표명,츤저온도、반응기압급사빈공솔대금강석막적결정습성、표면조조도급광투과솔균유흔대정도적영향,기최가치분별위700℃,2×133Pa화200W.재해최가삼량하경1h적생장즉획득련속、평활적납미금강석막,기평균정립척촌위약25nm,표면평균조조도부위5.5nm,재근홍외구적광투과솔고체90%.
