真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
6期
429-433
,共5页
茅昕辉%禹金强%周勇%吴茂松%蔡炳初
茅昕輝%禹金彊%週勇%吳茂鬆%蔡炳初
모흔휘%우금강%주용%오무송%채병초
巨磁阻抗%应力阻抗%FeSiB%薄膜%多层膜
巨磁阻抗%應力阻抗%FeSiB%薄膜%多層膜
거자조항%응력조항%FeSiB%박막%다층막
软磁材料中存在巨磁阻抗(giant magneto-impedance,GMI)效应以及与之相同来源的应力阻抗(stress-impedance,SI)效应,利用这两种效应可以制成具有高灵敏度的微型化的磁场和应力-应变传感器.本文基于传感器的实际应用,对图形化的、较大磁致伸缩的FeSiB单层和多层薄膜的巨磁阻抗和应力阻抗效应中频率和退火的影响进行了研究.结果表明,对于两种效应,经过退火处理的单层和多层膜均可在较低的频率下得到较高的灵敏度,而多层膜中的应力阻抗效应将为新型高灵敏传感器的设计和研制开辟一条崭新的途径.
軟磁材料中存在巨磁阻抗(giant magneto-impedance,GMI)效應以及與之相同來源的應力阻抗(stress-impedance,SI)效應,利用這兩種效應可以製成具有高靈敏度的微型化的磁場和應力-應變傳感器.本文基于傳感器的實際應用,對圖形化的、較大磁緻伸縮的FeSiB單層和多層薄膜的巨磁阻抗和應力阻抗效應中頻率和退火的影響進行瞭研究.結果錶明,對于兩種效應,經過退火處理的單層和多層膜均可在較低的頻率下得到較高的靈敏度,而多層膜中的應力阻抗效應將為新型高靈敏傳感器的設計和研製開闢一條嶄新的途徑.
연자재료중존재거자조항(giant magneto-impedance,GMI)효응이급여지상동래원적응력조항(stress-impedance,SI)효응,이용저량충효응가이제성구유고령민도적미형화적자장화응력-응변전감기.본문기우전감기적실제응용,대도형화적、교대자치신축적FeSiB단층화다층박막적거자조항화응력조항효응중빈솔화퇴화적영향진행료연구.결과표명,대우량충효응,경과퇴화처리적단층화다층막균가재교저적빈솔하득도교고적령민도,이다층막중적응력조항효응장위신형고령민전감기적설계화연제개벽일조참신적도경.
