压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2001年
6期
449-452
,共4页
林州%赵宏锦%任天令%刘理天%左如忠%李龙土
林州%趙宏錦%任天令%劉理天%左如忠%李龍土
림주%조굉금%임천령%류리천%좌여충%리룡토
流延%锆钛酸铅(PZT)%厚膜%射频天线
流延%鋯鈦痠鉛(PZT)%厚膜%射頻天線
류연%고태산연(PZT)%후막%사빈천선
研究了基于流延技术制备硅基锆钛酸铅(PZT)厚膜的工艺.考虑衬底特性对厚膜品质的影响,在不同的种子层上分别制备了PZT厚膜,测试工艺结果,证实了种子层的作用.分析了高温烧结时间对流延PZT厚膜品质的影响,确定了最优高温烧结时间.文章提出的硅基PZT厚膜工艺可用于制备射频天线的介质基片.
研究瞭基于流延技術製備硅基鋯鈦痠鉛(PZT)厚膜的工藝.攷慮襯底特性對厚膜品質的影響,在不同的種子層上分彆製備瞭PZT厚膜,測試工藝結果,證實瞭種子層的作用.分析瞭高溫燒結時間對流延PZT厚膜品質的影響,確定瞭最優高溫燒結時間.文章提齣的硅基PZT厚膜工藝可用于製備射頻天線的介質基片.
연구료기우류연기술제비규기고태산연(PZT)후막적공예.고필츤저특성대후막품질적영향,재불동적충자층상분별제비료PZT후막,측시공예결과,증실료충자층적작용.분석료고온소결시간대류연PZT후막품질적영향,학정료최우고온소결시간.문장제출적규기PZT후막공예가용우제비사빈천선적개질기편.
